热阴极电离规管频繁损坏故障分析与处理

摘要：

介绍了热阴极电离规管频繁出现损坏的情况.讲述了热阴极电离真空计原理.通过试验确认了电离规管频繁损坏是在做完工艺并关闭高阀后到真空度降到8 Pa这段时间发生.热阴极电离规管的一个缺点是在(绝对)压强大于1E-1 Pa时,容易氧化灯丝.经过试验确认,热阴极电离规管长时间处于1E-1 Pa到8 Pa间导致了该故障.采用了修改电路和PLC程序的方法,解决了电离规管频繁损坏故障.另外,提高国产复合真空计对电离规管的保护,还有待进一步研究.

关键词：热阴极、电离规、频繁损坏、钎焊炉

所属期刊栏目：49

分类号：TN321(半导体技术)

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：65-68