基于湿法清洗中快排槽节水性能的优化研究

摘要：

现有的清洗设备中,当完成晶圆的清洗工艺后,再次利用快速排水的工艺方法会消耗大量水资源.针对这一问题,探讨了一种适用于该类工艺流程的节水设计方案.通过改进排放阀的结构,将废水排放与回收功能集成相结合,使得去离子水的利用率得到了提高,不仅节约了成本,并且避免了资源的浪费.

关键词：晶圆清洗、快排阀、快排槽

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56