石英MEMS传感器湿法刻蚀工艺及设备制造技术研究

摘要：

简要介绍了石英MEMS传感器工作原理、敏感芯片结构及加工工艺,着重阐述了石英晶体各向异性刻蚀机理及湿法刻蚀工艺技术,针对影响湿法刻蚀石英晶体形貌结构的溶液浓度、溶液流场、反应气泡等因素,结合设备制造安全性重点论述了湿法刻蚀设备整机结构技术、溶液浓度控制技术、晶片转动控制技术等设备制造关键技术.

关键词：石英MEMS传感器、石英晶体、各向异性湿法刻蚀

所属期刊栏目：49

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-33