离子束溅射镀膜设备控制系统研究与设计

摘要：

离子束溅射镀膜机是半导体行业三大真空镀膜设备之一,广泛应用于传感器、微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中.对离子束溅射镀膜设备结构和工艺进行研究,设计一套满足自动上下料、高精度温度控制、束流跟随控制的控制系统,介绍控制系统下位机PLC和上位机监控软件设计思路,并给出相关软件设计流程图.

关键词：离子束溅射、控制系统、温度控制、监控软件

所属期刊栏目：49

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15-20