显影系统供液设计研究

摘要：

显影是半导体制造过程中的一道很重要的工艺环节,不同工艺使用的显影液不同.为实现多种显影液自动切换,并避免人工更换显影液造成的污染与浪费,且能够有效提高生产效率,设计了一种新型的显影供液系统,可自动切换两种不同浓度同种化学成分和不同化学成分共三种显影液,方便显影液供给,减少人工操作,避免人工换液造成的污染和浪费,能够更好地满足多种显影液频繁更换的需要.

关键词：显影工艺、供液系统、自动切换

所属期刊栏目：48

分类号：O69(应用化学)

在线出版日期：2020-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44