MOCVD反应室模拟仿真研究

摘要：

以MOCVD为研究对象,采用有限元方法研究了喷淋头进气压强、流量、载片盘转速及反应室出口压力对反应室内部流场的影响.结果 表明,气体流量及载片盘转速对反应室内部流场具有极大的影响.研究结果不仅为MOCVD工艺操作条件提供了有效的理论支撑,而且也为MOCVD喷淋头的设计提供了重要的参考依据.

关键词：有限元、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、反应室、流场

所属期刊栏目：48

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2020-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,18