超宽禁带半导体材料检测标准研究

摘要：

系统梳理了半导体材料和金刚石等超宽禁带半导体材料现行国际和国内标准体系,总结半导体材料标准化经验,结合超宽禁带半导体材料发展阶段和现阶段标准化需求,提出了超宽禁带半导体材料检测方法标准先行的发展思路,并具体提出了热导率、电学性质、位错密度、几何尺寸和表面粗糙度五项超宽禁带半导体材料检测标准需求.

关键词：超宽禁带半导体材料、检测标准、检测方法

所属期刊栏目：48

分类号：TN304.07(半导体技术)

在线出版日期：2019-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-52