ACT涂胶显影台高精度热板温度校准

摘要：

介绍了ACT涂胶显影台高精度热板的温度控制原理并提出了温度测量方法,结合实际 案例对其验证.结果 表明这种测量方法可以达到较高精度,能够满足关键工艺要求.另外还介绍了其拓展应用,效果很理想,不仅节约了成本,使机台及时恢复生产,而且工艺流程得到优化,大大提高了产能;同时完善了机台PM项目,定期对机台冷热板进行温度校准,排除隐患,对实际生产中的高精度热板温度校准有较强的指导作用.

关键词：高精度热板、温度、测量、校准

所属期刊栏目：48

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2019-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-32,60