碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究

摘要：

介绍了碲锌镉晶片背面研抛机的工艺过程和原理,研究了研抛工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对晶片表面层损伤深度的影响.

关键词：碲锌镉、研抛、表面层损伤

所属期刊栏目：48

分类号：TN948.43

在线出版日期：2019-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-28,47