晶圆磨削中TTV的优化方法

摘要：

介绍了晶圆磨削原理,分析了TTV产生的原因,提出了在不同情况下晶圆TTV的调整方法,使主轴与承片台的角度的调整更加方便准确.

关键词：晶圆磨削、总厚度偏差、主轴角度

所属期刊栏目：48

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2019-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-9,55