基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析

摘要：

由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture)具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其弹性模量相对于金属较小,为保证该类卡盘的良好性能,采用有限元方法,通过数值模拟研究影响其形变因素,并在此基础上,提出了四种优化结构,能有效地提升卡盘性能;与金属相比,氟塑料的线性膨胀系数较大,采用热力耦合方法,研究氟塑料卡盘在高温下形变,比如PTFE(聚四氟乙烯)材质卡盘的最大径向位移在设计温度下约增加34.5％.因此,为保证氟塑料卡盘性能,温度不可忽略.

关键词：硫酸与双氧水混合溶液、氟塑料卡盘、形变、结构优化、热力耦合

所属期刊栏目：48

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2019-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：55-60