扇出型芯片键合设备开发思路及整机框架结构设计与仿真

摘要：

为了提高扇出型芯片的键合精度,设计了一种采用内外部架构的扇出型芯片键合设备.通过主动减振器实现内外部架构的隔离,从而提高了键合设备的键合精度;具有广阔的市场前景.

关键词：扇出型芯片、键合设备、内外部世界架构

所属期刊栏目：48

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2019-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-41