金刚线在硅晶体切割领域的应用研究

摘要：

金刚石切割线近年来迅猛发展,通过与传统砂浆切割工艺对比分析优缺点,详细介绍了新材料金刚石切割线的分类、特性、结构原理、切割工作原理以及发展前景.

关键词：金刚线、超精细、损伤层、碎片率

所属期刊栏目：48

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2019-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36