全自动硅片下料机碎片分析与优化设计

摘要：

全自动硅片下料机在生产过程中,容易受到刻蚀工艺机台碎片的影响,出现堵片、流片等问题,从而降低良品率.通过分析工艺机台产生的几种碎片形态,提出了加装碎片检测装置和改造下料机翻转结构的解决方案;该方案能及时检测碎片,并通过优化后的结构处理碎片,提高了设备的稳定性.

关键词：全自动硅片下料机、碎片分析与处理、结构优化

所属期刊栏目：48

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2019-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16