10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.008
平板式PECVD设备工艺腔加热系统的设计
根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀性.
太阳能电池、电阻加热、电功率、温度、均匀性
48
TN948.43
2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
28-30,54
10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.008
太阳能电池、电阻加热、电功率、温度、均匀性
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2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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