光学系统设计中的光阑应用分析

摘要：

基于远心镜头、显微镜头等成像镜头的光学系统在半导体装备上应用非常广泛.光学系统设计中需要规定对一定成像范围内的物点,以要求孔径角成像,这些对成像光束起到约束作用的孔径称为光阑;依据作用不同,一般分为孔径光阑、视场光阑、渐晕光阑和消杂散光阑;结合光学系统设计案例,深入分析了各类光阑对光学系统的影响.

关键词：光阑、孔径、视场、渐晕、杂光

所属期刊栏目：48

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-27