直线电机在半导体设备中的典型应用分析

摘要：

随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析.

关键词：直线电机、半导体设备、原理、应用分析

所属期刊栏目：48

分类号：TP23(自动化技术及设备)

在线出版日期：2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19