各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性研究

摘要：

根据晶圆电镀原理,建立简化的晶圆双面电镀槽模型,分析了改变阴阳极间距对电流密度的影响,探索了各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性.

关键词：晶圆电镀、电流密度、镀层厚度

所属期刊栏目：48

分类号：TN304.05(半导体技术)

在线出版日期：2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-15,36