射频功率发生器的功率检测装置研究

摘要：

射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性.系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路:经试验分析,本射频功率检测装置的功率检测范围0～1 500 W,对应的检测输出电压范围0.2～4.65 V,该检测输出电压与实际输出功率基本呈线性关系.

关键词：射频功率发生器、功率检测装置、检测输出电压

所属期刊栏目：48

分类号：TN622(电子元件、组件)

资助基金：国家科技重大专项2014ZX02001004-002;国家重点研发计划2016YFF0100201

在线出版日期：2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-7