投影光刻机调平调焦系统原理与故障分析

摘要：

以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成, 详细叙述了调平调焦系统的运行步骤, 并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障, 给出了处理故障的方法和步骤.

关键词：调平、调焦、投影光刻机

所属期刊栏目：48

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40