GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用

摘要：

根据Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (简称GEM) 通讯协议的要求, 分析了子状态、状态要求、状态转换的条件、触发状态转换的模块等;根据上述不同内容, 选择不同的消息传递路径, 最终实现GEM状态的转换, 为设备端和主机端的交互提供了基本条件.

关键词：化学机械抛光、工厂设备通信与控制通用标准、状态转换

所属期刊栏目：48

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32