基于过程能力指数的金钢线多晶切片质量控制

摘要：

过程能力指数Cpk是衡量制造业生产过程产品满足标准要求程度的量值, Cpk值越大, 则意味着工序生产能力越稳定, 产品质量也越高;同时考虑到成本及技术能力, 通常将Cpk值控制在一个可以接受的水平.将制造业生产常用的过程能力指数方法运用于金刚线多晶切片质量控制过程中, 通过计算生产过程可能影响成品率的质量因素的Cpk指数, 从而快速有效地找出影响多晶切片质量和过程稳定性的主要因素, 为质量改进提供有效的数据支撑.

关键词：过程能力指数、金刚线多晶切片、质量因素

所属期刊栏目：48

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-28