自动检测系统中图像对准方法研究

摘要：

自动检测系统需要在没有人工干预的情况下完成待测基片扫正以及自动找到首测点进行起测的功能,若图像对准系统不能稳定工作,设备的整体运行效率就很受影响.通过对自动检测系统图像对准方式的研究,提出了用几何匹配的方法来代替之前的灰度匹配,并且改进了扫正和寻找首测点的方法,提高了整机系统的稳定性和运行效率.

关键词：自动检测系统、图像对准、几何匹配

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2019-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：41-46