半导体设备回转件设计中的动力学问题探究

摘要：

半导体设备回转构件不平衡引起的振动直接制约着设备的加工精度及可靠性.研究回转构件转子动力学所涉及的系统受迫振动、转子临界转速和惯性主轴等问题,为刚性转子设计寻找理论依据;再通过刚性转子平衡理论,对比动平衡机平衡及现场动平衡,为半导体回转构件动平衡寻找经济可行的平衡方法.

关键词：转子动力学、惯性主轴、临界转速、动平衡

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2019-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：18-22,36