集成电路ESD防护浅析

摘要：

论述了集成电路(IC)中静电的产生机理及其放电形式,分析了静电对集成电路器件的危害,在此基础上阐述了集成电路生产中预防静电的相关措施.

关键词：静电、防护、损坏

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-51