多晶硅锭的剖方质量改善研究

摘要：

从改善砂浆切割性能出发,研究了砂浆物理性质、剖方后小方棒尺寸及线痕比例随着切割刀数的变化趋势,分析了相关原因,最终得到多晶硅锭剖方的工艺方法,即:砂浆更换方式采用整缸更换,并且切割工艺采用变速切割;增大砂浆流量;采用改善办法可以有效提高好砂浆的切割能力,得到更好的切割效果.

关键词：多晶硅锭、多线切割、改善方法、切割能力

分类号：TN948.43

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43