离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究

摘要：

展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析.仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够的离子束控制能力.

关键词：离子注入机、低能、减速、能量污染

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39