激光划片机的晶圆自动对准方法研究

摘要：

针对激光划片机的自动化生产需求,通过图像识别与模板匹配策略,在底部对准的激光划片机上实现GPP晶圆的自动旋转对位,并通过建立网格节点的方式计算划片轨迹,实现晶圆正面图形的自动识别与划片.

关键词：激光划片机、图像识别、底部对准、玻璃钝化(GPP)晶圆

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-27,63