金刚砂均匀性对多晶切片质量的影响分析

摘要：

在金刚线多晶切片过程,控制好金刚线的质量对整个切片质量有着至关重要的作用.通过对金刚线表面金刚砂分布均匀性的研究,分析了在相同加工工艺技术条件下,金刚石表面金刚砂的分布均匀性对金刚线多晶切片质量的影响程度,为金刚线多晶切片生产质量控制和加工工艺技术提供一定的技术依据.

关键词：多晶切片、金刚砂、分布均匀性

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23