AMHS在集成电路产业的发展趋势分析

摘要：

阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势.

关键词：自动物料搬运系统、空中走行式无人搬送车、空中走行式穿梭车

分类号：TN401(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6