甩干机隔振系统设计及实验研究

摘要：

甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动.为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递路径进行了分析,再通过分析隔振理论及橡胶减振器的性能特征,最后为某型甩干机选取合理的橡胶减振器参数;通过实验测试表明其隔振效果达到了预期要求.

关键词：甩干机、隔振、橡胶减振器

所属期刊栏目：47

分类号：TH132

在线出版日期：2018-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66