扩散退火一体化上下料机构设计

摘要：

通过介绍石英舟载体的独特性,提出了其上下料机的设计要点,介绍了该上下料机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的各部分结构设计,说明了设备的相关配套功能.

关键词：石英舟、扩散退火一体化、上下料

所属期刊栏目：47

分类号：TH132

在线出版日期：2018-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52