基于动态补偿原理的超声波 发生器研究

摘要：

从键合过程分析、硬件电路实现和动态补偿等方面简要介绍了一种基于动态补偿原理的超声波发生器.对于提高键合推拉力强度、改善键合工艺的一致性具有重要意义,保证了封装器件以及模块的可靠性.

关键词：超声波发生器、超声键合、动态补偿

所属期刊栏目：47

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2018-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：17-22,26