电子工艺设备技术性能指标提出 方法及内容研究

摘要：

针对用户提出的电子工艺设备技术性能指标内容不完整、不清晰、不准确,导致设备不能与工艺技术及使用环境要求完全匹配现象,对电子工艺设备技术性能指标提出方法及内容进行了研究,结合多年的实践经验,从正式提出电子工艺设备技术性能指标前的准备工作、技术性能指标构成要素、各要素的关键点、详细技术性能指标的表现形式等方面,给出了方法和技巧.

关键词：电子工艺设备、技术性能指标、提出方法及内容

所属期刊栏目：47

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2018-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：9-12,33