感应耦合等离子体刻蚀机的原理与故障分析

摘要：

介绍了IC PE法工艺的基本原理及其设备的基本结构.分析了影响IC P工艺刻蚀速率的主要因素.根据多年维修经验,分析总结了ICP设备常见故障现象并给出了相应的解决方法.

关键词：感应耦合等离子体、干法刻蚀、故障分析

所属期刊栏目：46

分类号：TN405.98+2(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2017-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：59-62