工业视觉机器人在单晶硅电池片PVD工艺中的应用

摘要：

介绍了单晶硅电池片物理气相沉积(PVD)工序封装解决方案及工艺流程.通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、容易污染硅片的问题.并对该系统进行了分析优化,给出了提高精度、速度的优化方案.

关键词：单晶硅电池片、PVD工艺、工业视觉机器人

所属期刊栏目：46

分类号：TP242.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-35