湿法腐蚀清洗设备中的循环管路应用

摘要：

湿法腐蚀清洗设备是集成电路、LED、太阳能、MEMS等芯片制造中必不可少的工艺设备,而为了更好的达到腐蚀效果,在各种腐蚀工艺中往往要配合药液的循环完成,从而达到更好的腐蚀均匀性.介绍了几种常用的腐蚀工艺循环原理及在湿法腐蚀清洗设备的典型应用.

关键词：循环、湿法腐蚀清洗、硅腐蚀

所属期刊栏目：46

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-18,35