10.3969/j.issn.1004-4507.2017.02.003
锗单晶片边缘损伤影响因素分析
新一代太阳电池所需的锗片厚度仅为140μm,在加工过程中更容易出现边缘破损,因此,锗片的边缘质量控制更为迫切.从单晶质量控制、滚圆及参考面制作出发,对锗片边缘质量的影响因素进行了分析,并提出相应的解决措施,提升了超薄锗片的边缘完整性.
锗、边缘损伤、圆度、晶向偏离度
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TN948.43
2017-05-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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锗、边缘损伤、圆度、晶向偏离度
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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