用于晶圆刷洗的同心卡接机构设计

摘要：

在CMP后清洗工艺过程中,往往需要对机刷进行快速更换.针对以上需求,设计了一种用于晶圆刷洗的同心卡接机构,很好地解决了机刷更换过程同心度存在偏差及更换不便的问题,改善了晶圆表面清洗的效果.

关键词：CMP后清洗、晶圆刷洗、同心卡接机构

所属期刊栏目：46

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-55