电子制造中X射线检测系统中的放大倍数

摘要：

根据电子工业中应用微焦点X射线数字成像检测的BGA指标,结合美国材料与试验协会给出的缺欠与像素的关系,应用数学模型推导出最小的检测放大倍数,对使用此类设备进行检测时工艺卡的编写起到了辅助作用;同时通过关系曲线,说明在电子工业中当检测需求有规定最小可分辨尺寸时,微焦点X射线数字成像检测设备的放大倍数有着最小放大倍数.

关键词：微焦点X射线、放大倍数、数字成像

所属期刊栏目：46

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34