一种腐蚀清洗设备中的特异气体监测及处理

摘要：

在湿法腐蚀清洗设备工艺过程中,使用盐酸和磷酸腐蚀表面材料为磷化铟的晶圆片,会产生一种有毒性的特异气体;针对这种特异气体,设计了一种对反应腔体内、设备内及室内的气体监测处理系统.

关键词：腐蚀清洗、特异气体、监测处理

所属期刊栏目：46

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30