硅片研磨液的研究

摘要：

伴随着IC制造技术的迅猛发展,IC技术已经渗透到我们生活的各个角落.为了满足IC封装的要求,芯片的厚度不断降低.因此对硅片表面的质量有个更高的要求.介绍了硅片的研磨过程和研磨液的作用,对国内主流研磨液进行了简单的介绍,分析了它们的优缺点.

关键词：研磨液、硅片、悬浮、活性剂

所属期刊栏目：46

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-27,42