基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究

摘要：

详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态.

关键词：扫描电镜、光学系统、合轴

所属期刊栏目：46

分类号：TN206(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18