ADT 7100砂轮划片机工作台与刀盘座的参数分析

摘要：

对于金刚石砂轮划片机,工作台与刀盘座的质量和它们之间定位对划片质量有着重要的影响.基于以色列ADT公司的产品ADT7100划片机,介绍了工作台的平面度、刀盘端面的跳动误差以及刀盘端面与X轴的平行度等参数,分析了这些参数对划片质量和砂轮刀的影响;并结合实际,提出了针对这些参数的测量方法和超过标准的解决方法.

关键词：划片机、工作台、刀盘座

所属期刊栏目：45

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38