基于NBL电子束曝光系统合轴研究

摘要：

详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态.

关键词：电子束、曝光系统、微纳投影(NBL)、合轴

所属期刊栏目：45

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-29,54