碳化硅微粉在多线切割中的应用

摘要：

对多线切割过程,碳化硅微粉的性质和标准进行了介绍,描述了碳化硅微粉在多线切割过程中的作用,讨论了砂浆的配制方法及注意事项;由于砂浆的成本在整个切割过程中占据了相当大的一部分,因此如何降低砂浆的成本是一个热点问题;根据硅片生产厂家的实践发现,使用一定比例的回收碳化硅微粉能够降低生产成本,同时对硅片表面质量影响较小,并且有利于环境保护,因此具有可行性.

关键词：碳化硅微粉、多线切割、砂浆

所属期刊栏目：45

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24