10.3969/j.issn.1004-4507.2016.12.001
湿化学清洗设备在GaN基LED正装芯片制程中的应用
讨论了湿化学清洗设备的产能和耗水(DIW)计算方法,以100 mm晶圆,单批次流片量50片为例,阐述了湿化学清洗设备整机和单元模块的各类配置;依据晶圆在各刻蚀清洗工艺后的表面形状,明确了各清洗设备在工艺中的作用.湿化学清洗设备可依据生产情况灵活处理生产需求,已成为LED芯片制程生产线中应用最多的设备之一.
湿化学制程设备、产能计算、LED芯片制程
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TN305.97(半导体技术)
2017-02-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
3-6,38