一种Wafer Map文件读取解析算法的研究

摘要：

目前各生产厂使用的晶圆图谱(WaferMap)文件类型多种多样,对WaferMap文件的读取产生很大困难.常规解决办法是针对每种文件类型,编写不同的程序算法进行读取.这种情况下每出现一种新WaferMap类型文件,就需要软件添加程序,用于读取并解析该类型文件.为了解决这个问题,对多种类型WaferMap文件进行研究,找出不同类型WaferMap文件的共性,得出一种通用型WaferMap文件读取算法.凡文件内含有饼图的WaferMap文件,都可以采用该算法读取解析,解决了对新WaferMap类型,需要添加新程序,读取并解析该文件的问题.

关键词：WaferMap解析、WaferMap算法、饼图

所属期刊栏目：45

分类号：TP311(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2016-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-13,37