BTZ-3100型探针台承片台系统的改进研究

摘要：

BTZ-3100型自动探针台是半导体芯片测试的高精密仪器,其中运动系统是该分选设备的一个重要结构.结合客户在使用过程的反馈意见,总结了运动系统存在的一些问题:主要包括z轴升降台运动导致的芯片划伤,以及u轴旋转轴的旋转精度不够.针对这两个问题,主要更改了z轴升降台的软件控制方式,同时改进了u轴的机械结构,优化了机械运动和软件控制的配合方式,并且对改进后的结构进行了实际测试,测试结果显示探针台运动系统的精确性和稳定性得到了提高,设备运行过程中出现的划伤问题和对齐精度不高的问题都得到了很好的解决.

关键词：承片台系统、z轴升降台、u轴

所属期刊栏目：45

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-37,42