半导体定向工艺的研究

摘要：

单晶体具有一种独特的各向异性性质,这种各向异性对半导体材料和器件的制造有着十分重要的影响,因此在使用晶体时必须按一定的方向切割,才能达到较好的应用效果.

关键词：半导体、粘棒、定向、X射线

所属期刊栏目：45

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27